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XQ15-GⅡ数字式激光平面干涉仪

XQ15-GⅡ数字式激光平面干涉仪

日期:2019-02-07 人气:
XQ15-GⅡ数字式激光平面干涉仪
专利号:200620041101.4
XQ15-GⅡ数字式激光平面干涉仪

用途和特点:
  可广泛适用于计量实验室对高精度平面的平面度检测和鉴定。能根据不同的要求打印出各种平面度测试的彩色等高图以及三维立体透视图。并给出波峰波谷值(PV),最大面形误差(Em),均方根值(Rms),光圈数等面形评价参数。人体温度对测量可靠性的影响为最小。

仪器的配套性:
  改型的XQ15-GⅠ激光平面干涉仪、1/3英寸CCD、14″监视器、扫描驱动器、驱动器电源、电脑、EPSON720彩色打印机。
  电脑最低配置要求:CPU PⅢ以上,128兆内存,16兆显存显卡,视频捕捉卡。

技术参数:

  1. 第一标准平面(A面),工作直径D1=Φ146mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)

  2. 第二标准平面(B面),工作直径D2=Φ140mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)

  3. 准直系统-----------------工作直径Φ146mm,焦距 f = 400mm

  4. 光源规格-----------------激光ZN18(He-Ne)

  5. 干涉室尺寸----------------Φ480×380×285mm


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